IE414,IE514熱電離真空計

IE414 和 IE514 是基于熱陰極電離效應的真空傳感器。IE414 是一種 Bayard-Alpert 真空計，而 IE514 則基于抽氣機原理。這些無源真空計由 IM540 真空計控制器組合和控制。

通過調節陰極發射電流，IE414 的測量范圍從 10-2毫巴到10 -11毫巴，跨度超過 9 個分度。由于采用了萃取器原理，IE514 可以達到 2×10-12mbar 的測量下限，這要歸功于其本身減少了 X 射線和離子解吸效應。IE414 和 IE514 真空計頭專為低放氣真空系統設計，可在非常高溫度（400 °C）下烘烤。耐高溫真空計頭電纜套件也可用于超過 200 °C（傳感器法蘭處為 250 °C）的高溫烘烤。

優勢

采用單獨校準的傳感系統，測量精度高

可更換陰極

非常高的高溫烘烤溫度可達 400 °C

IE414

Bayard-Alpert 傳感原理

測量范圍達 2×10-11毫巴

陰極發射電流調制（與 IM540 真空計控制器結合使用）

IE514

抽氣機傳感原理

低測量極限，低至 2×10-12mbar

顯著降低 X 射線和離子解吸效應

典型應用

需要在超高真空范圍內進行**真空測量和高溫烘烤的科學和研發應用

運營單位

真空計控制器 IM540

規格

IE414,IE514熱電離真空計